Подразделение | Должность |
Институт перспективных материалов и технологий | доцент |
Краткая биография
Выпускница МИЭТ. В МИЭТ работает с 1976: аспирант, младший научный сотрудник (до 1984), доцент кафедры физико-химических основ технологии микроэлектроники (1984 - 1999), доцент кафедры материалов и процессов твердотельной электроники (с 1999).
В 2003-2015 гг. - декан факультета (колледжа) Электроники и информатики. С января 2010 г. по февраля 2015 г. – директор института развития профессионального партнерства в образовании, заместитель проректора по учебной работе МИЭТ.
В 2007/2008 уч.г. прошла профессиональную переподготовку в ГОУ «Институт развития дополнительного профессионального образования» по программе «Преподаватель высшей школы» и получила диплом на ведение профессиональной деятельности в сфере педагогики высшей школы и дополнительного профессионального образования.
Имеет государственную награду – медаль «В память 850-летия Москвы», а также звание «Заслуженный работник МИЭТ» и звание «Почетный работник образования г. Москвы».
Читаемые курсы
- Методы исследования состава, структуры и электрофизических свойств материалов электронной техники
- Дефекты в полупроводниковых структурах и полуфабрикатах интегральных схем
- Дефекты в полупроводниковых материалах, возникающих при обработке поверхности
- Современные методы исследования материалов
Научная деятельность
Является автором 70 работ (учебных пособий, практикумов, 10 авторских свидетельств). В качестве исполнителя и научного руководителя участвовала в проведении 10 НИР, результаты которых внедрены на предприятиях заказчиков.
Научные интересы: дефекты в кристаллических структурах и методы их исследования, CVD – процессы формирования структур микро-, опто- и наноэлектроники декомпозицией внутрикомплексных соединений, быстрые термические процессы.