Заведующий кафедрой: д.т.н, профессор Вадим Васильевич Одиноков
Кафедра создана в 2000 г. совместно с АО НИИТМ и занимается исследованиями и разработками в области создания технологического оборудования микроэлектроники, включая разработку методов и систем автоматизации технологических процессов.
Тематики выпускных квалификационных работ:
- разработка устройства для автоматизированной очистки кислот;
- разработка системы управления плазмохимическим оборудованием;
- разработка системы управления диффузионным оборудованием;
- исследование режимов проведения технологических процессов
- разработка алгоритмов, программ и систем управления;
- разработка интерфейса и программного модуля управления установкой магнетронного напыления.