Image

Научно-исследовательская лаборатория атомной модификации и анализа поверхности полупроводников

О нас Сотрудники Публикации Партнеры и заказчики
Год основания — 1995 г. Первый научный руководитель — чл.-корр. РАН, ректор МИЭТа Ю.А. Чаплыгин. Научный руководитель — д.т.н., проректор МИЭТа В.А. Беспалов.

Направления работ лаборатории — разработка уникальных специализированных зондовых микроскопов для самых различных применений, а также разработка и серийное производство универсальных микроскопов, профилометров и на их базе учебных классов по нанотехнологиям на заводе «ПРОТОН-МИЭТ» (www.zproton.ru). Микроскопы имеют единое программное обеспечение с мощным пакетом обработки и анализа изображений, учебно-методические пособия и постоянное методическое сопровождение, что позволяет пользователям, начав с применения универсального микроскопа СММ-2000, по мере роста задач легко осваивать более сложную технику. Результатами работы нашего коллектива можно считать разработку более десятка зондовых микроскопов и приборов, около половины из которых не имеют аналогов в мире, наши публикации, более 200 установленных зондовых микроскопов нашей разработки и более 20 учебных классов из них в различных научных и учебных учреждениях в России и за рубежом. Лаборатория с готовностью рассматривает самые смелые идеи по созданию новых микроскопов с предложениями участия нас как вуза и как ведущей научной школы России по наноэлектронике, имеющей большой задел, в качестве Соисполнителей проектов.

Сканирующий мульти-микроскоп СММ-2000

Разработка 2000 года, режимы СТМ (разрешение 3 Å) и АСМ (высокоразрешающий мягкий контактный режим, до 0.1 Å по вертикали). Кадры до 15/15/2 или 40/40/3 мкм, двигатели для выбора точки сканирования на поле 6/6 мм с просмотром в оптическом микроскопе МБС-10, смена СТМ/АСМ режимов без вынимания образца, встроенная виброподвеска (-60дб), возможности для дополнительных методик, габариты 155/155/105 мм, вес 5 кг. Уникален возможностью работы от ноутбука из-за мало потребляющей электроники (3Вт). Серийно производится заводом «ПРОТОН-МИЭТ», стоимость вместе с оптическим микроскопом МБС-10 и управляющим компьютером Pentium Duo – около 480 тыс. руб. (март 2008 г.), включая НДС, срок поставки – 1 месяц. Общее число поставок – более 100 в научные институты и более 20 в вузы в виде учебных классов из 3…10 микроскопов с мебелью и учебными пособиями.

Профилометр модели 130

Профилометр разработки 2006 г., продолжение зарекомендовавшего себя профилометра модели 623, выпускавшегося заводом «Калибр». Единственный производимый в России профилометр 1-го класса точности, внесён в Госреестр средств измерения России. Длина трассы до 12.5 мм, скорость 0.5…2 мм/с, отсечка 0.08… 8 мм, точность 0.0001мкм, диапазон 500 мкм. Выдаёт 22 параметра (Rа; Rz; Rmax; Rp; Rv; Rq; Sm; tp; S; λa; Lo; lo;…) шероховатости (1-14 класс) и волнистости. Индукционный датчик с алмазной иглой 10 мкм, имеются датчики с малым давлением и без опоры. Подключается к любому компьютеру, начиная от Pentium-500MHz с Windows 98/XP на шины PCI или ISA. Серийно производится заводом «ПРОТОН-МИЭТ», стоимость – около 150 тыс. руб. (март 2008 г.), включая НДС, срок поставки – 1 месяц. Число поставок в 2007 году – 20: в научные институты, вузы и на заводы.

Сканирующий туннельный микроскоп UnderSEM-377

Устанавливается внутрь электронных микроскопов (SEM) с открывающейся камерой и вакуумом до 10-7Торр на место держателя образца вместе с образцом. Образец открыт для SEM и его анализаторов. Туннельная игла подводится сбоку и даёт разрешение просматриваемой в SEM точки образца вплоть до атомарного. В SEM наблюдается процесс сканирования туннельной иглой. Не требует виброразвязок из-за высокой резонансной частоты 38 кГц. Поле 2/2/0.6 мкм. Работает режим туннельной спектроскопии. Разработка 2004 г. По заказу изготавливается заводом «ПРОТОН-МИЭТ», стоимость – около 420 тыс. руб. (март 2008 г.), включая НДС, срок изготовления – 3 месяца. Число поставок в 2007 году – 5: в научные институты и вузы.

Сканирующий туннельный микроскоп UHV-LT-STM-5

Имеет надёжное атомарное разрешение на металлах и внедряется в вакуумные установки до 10-11Торр, в т.ч. в азотные и гелиевые вакуумные криостаты. Держит прогрев до 150 º С. Резонансная частота 8 кГц. Поле 4.8/4.8/0.6 мкм при 20С и 0.8/0.8/0.1 мкм при 5 К. Образец горизонтален и открыт для любых других методик, туннельная игла ходит по образцу в поле 4/4 мм. Игла и образец меняются вакуумными манипуляторами. Разработан в 2006 г. для ИОФАН (К.Н. Ельцов) по ФНЦТП на 2002-2006 гг., раздел «Индустрия наносистем и материалы». Запатентован. По заказу изготавливается заводом «ПРОТОН-МИЭТ», стоимость – около 900 тыс. руб. (март 2008 г.), включая НДС, срок изготовления – 6 месяцев.

Сканирующий туннельный микроскоп STM-TOKAMAK-2

Разработан в 2000 г. для ИТЭФ с внедрением в ТОКАМАК Т-10 Института синтеза РНЦ «Курчатовский институт». Подаётся линейным манипулятором в плазму под тень лимитера для наблюдения распыления первой стенки и осаждения из плазмы атомных кластеров и нанопыли. Из-за высокой резонансной частоты 32 кГц и симметрии даёт атомарное разрешение и работает внутри ТОКАМАК несмотря на сильные эл.-маг. поля и градиенты температур. Стоимость около 1 млн.руб., срок изготовления – 9 месяцев. Запатентован. Не имеет аналогов в мире. По заказу изготавливается заводом «ПРОТОН-МИЭТ», стоимость – около 900 тыс. руб. (март 2008 г.), включая НДС, срок изготовления – 9 месяцев.

Сканирующий зондовый микроскоп АКТИНИД-М

Разработан в 2005 г. для ВНИИТФ г. Снежинск для работы с радиоактивными образцами внутри перчаточной камеры, наблюдения структуры, дефектов, динамики радиационного охрупчивания, окисления и т.д. Имеет режимы СТМ и АСМ, разрешение до 5 Å, поле кадра 15/15 мкм, встроенную виброподвеску, герморазъём на камере и управление от компьютера. Имеет несколько СТМ и АСМ зондов, внедряемых в камеру по мере необходимости и устанавливаемых вместо отработавших зондов вручную грубыми перчатками. Не имеет аналогов в мире. По заказу изготавливается заводом «ПРОТОН-МИЭТ», стоимость – около 2 млн. руб. (март 2008 г.), включая НДС, срок изготовления – 9 месяцев. В 2007 году изготовлен для СХК г. Северск.

Разрывной атомно-силовой микроскоп РАСМ-5

Впервые разработан в 1998 г. для Института физики прочности и материаловедения СО РАН (ак. В.Е. Панин) для изучения динамики структурных перестроек и дефектов (мезомеханика) in-situ в процессе разрыва материала, для анализа векторов перемещения зёрен и нанозёрен материала при деформации. Имеет встроенную разрывную машину со сверхмалыми вибрациями и усилием до 200 кг. Компьютерная система накапливает «фильм» из сканов полем до 50/50/3 мкм с разрешением до 20 Å. Не имеет аналогов в мире. По заказу изготавливается заводом «ПРОТОН-МИЭТ», стоимость – около 3.5 млн. руб. (март 2008 г.), включая НДС, срок изготовления – 9 месяцев. В 2007 году модернизирован и изготовлен для ИФПМ СО РАН г. Томск и ИФТПС СО РАН г. Якутск.

Колонна электронного микроскопа SEM-20-50

Разработана в 2000 г. и имеет промежуточное ускорение для работы со слабо проводящими и чувствительными к статике образцами при энергии зонда 300-1000эВ с разрешением до 200Å. Подсоединяется к вакуумным установкам до 10-7Торр, в перспективе до 10-11Торр. При 20 кВ имеет разрешение 100 Å и предельное разрешение 50 Å на образце «золото на графите». Рабочий отрезок 20…50 мм, совмещается с туннельными микроскопами UnderSEM377 и UHV-LT-STM-5. Высота колонны с источником 350 мм, диаметр 110 мм, вес колонны 7 кг. По заказу изготавливается заводом «ПРОТОН-МИЭТ», стоимость – около 450 тыс. руб. (март 2008 г.), включая НДС, срок изготовления – 9 месяцев.

Ванна Ленгмюра-Блоджетт ЛБ-2000

Разработана в 1998 г. для проекта г. Москвы по контролю питьевой воды на содержание вирусов путём специфичного связывания с подложками, на которые в данной ванне заранее нанесены монослои различных антител. Имеет две раздельные площади по 300 кв.см. с раздельными датчиками поверхностного натяжения для нанесения на подложку чередующихся слоёв различных веществ. Размер подложки – до 95/35 мм, шаг барьера 0.5 мкм, шаг дипера 1 мкм. Имеется регулируемый нагрев от комнатной температуры до 60 º С. По заказу изготавливается заводом «ПРОТОН-МИЭТ», стоимость – около 470 тыс. руб. (март 2008 г.), включая НДС, срок изготовления – 9 месяцев.

Система магнетронного напыления МАГ-2000

Разработана в 2000 г. для напыления проводящих и панцирно-жёстких плёнок на образцы для зондовых микроскопов. Отличается рекордно малой толщиной сплошного покрытия, 8 Å для W и 10 Å для С, мало зависящей от угла наклона. Распыляет проводящие немагнитные материалы, в т.ч. легированные полупроводники. Диаметр пятна равнотолщинного напыления 50 мм, скорость напыления 1 А/с. Состоит из равновесного 30 Вт магнетрона и блока управления с заданием времени экспозиции. Магнетрон встраивается пользователем в любой пост с вакуумом до 10-5 Торр и напуском аргона до 10-3 Торр, например, ВУП-5. Серийно производится заводом «ПРОТОН-МИЭТ», стоимость – около 50 тыс. руб. (март 2008 г.), включая НДС, срок поставки – 1 месяц. Общее число поставок – более 50: в научные институты и вузы.

Сканирующий мульти - микроскоп СММ-2000ТА

Режимы СТМ и АСМ, разрешение до 5 Å. Поле кадра 6/6/1 или 40/40/2 мкм. Разработка 1995 г., с участием Института аналитического приборостроения РАН. Первый зондовый микроскоп, вошедший в Госреестр измерительных средств России. Прошёл допуск в Оксфорде как учебный прибор, получил признание как наиболее доступный для понимания принципов работы зондовый микроскоп в мире. Микроскоп, на котором был организован первый учебный курс по СТМ в России – в 1999 г. в МГТУ им. Н.Э. Баумана. Выпускался серийно с 1995 г. по 2002 г. по стоимости 3900-4300 долл. Число поставок – более 40 (РАН, вузы, зарубеж). При покупке любого микроскопа на заводе «ПРОТОН-МИЭТ» принимается в зачёт в любом состоянии за 60 тыс. руб.

Сканирующий туннельный микроскоп СТМ-НЛ-2.0

Разработан и произведён в 1991 г. в 15 экземплярах корпорацией МДТ с участием сотрудников лаборатории (Б.А. Логинов) и Института аналитического приборостроения РАН. Микроскопы были отвезены Б.А. Логиновым. в США и продемонстрированы их открывателю, Нобелевскому лауреату Г. Рореру, с получением его одобрения на производство в России. Три микроскопа переданы Б.А. Логинову в качестве альтернативного расчёта за работу в МДТ и установлены в научных институтах РФ и за рубежом. Микроскоп имеет режим СТМ с разрешением до 3 Å, поле до 6/6/1 мкм и имеет режим СТМ-нанолитографии с амплитудой импульсов до 15 В. При покупке любого микроскопа на заводе «ПРОТОН-МИЭТ» принимается в зачёт в любом состоянии за 60 тыс. руб.

Сканирующий туннельный микроскоп Нанометр-1

Разработан и изготовлен в 1995 г. в 5 экземплярах для кремниевой промышленности России - для завода «Ангстрем» и НИИ физических проблем г. Зеленоград. Работает с пластинами диаметром до 100 мм, позиционируя иглу в любую точку пластины и давая кадры с разрешением до 10 Å полем до 20/20/2 мкм. Второй по счёту зондовый микроскоп, вошедший в Госреестр измерительных средств России. В 1998 г. адаптирован для любых других образцов размером до 100/100/30 мм, в т.ч. комплектовался разрывной машины для изучения прочности материалов. При покупке любого микроскопа на заводе «ПРОТОН-МИЭТ» принимается в зачёт в любом состоянии за 60 тыс. руб.

Сканирующий туннельный микроскоп СТМ-У1

Разработан и изготовлен в 2 экземплярах в 1995 г. как копия микроскопа Нобелевской премии для демонстрации в учебном курсе по зондовой микроскопии, а также для приобретения опыта по конструированию зондовых микроскопов. Имеет атомное разрешение на пиролитическом графите, кварцевое основание с низким тепловым дрейфом и пятиступенчатой виброразвязкой, трипод с полем кадра 1/1/1 мкм и управляющими напряжениями до 700В. При покупке любого микроскопа на заводе «ПРОТОН-МИЭТ» принимается в зачёт в любом состоянии за 60 тыс. руб.


Сотрудники


Логинов Борис, нач.лаборатории,
физик-приборист
Беспалов Владимир А.
научный руководитель, д.т.н.
Чаплыгин Юрий А. первый научн.руков.,
чл.-корр. РАН
Елкин Алексей Г.
руководитель по производству
Ткачев Алексей
главный программист, д.ф.-м.н.
Джариашвили Гиа
точная механосборка
Теверовский Лев
конструктор
Гусев Алексей
электроника
Куриков Сергей
цифровая электроника
Агеев Сергей
аналоговая электроника
Гелевер Владимир
электронная микроскопия
Протасенко Владимир
тестирование и обучение
Усов Евгений
сборка и наладка
Логинов Павел
конструирование, электроника и софт
Логинов Владимир
конструирование, электроника и софт

Публикации


1995 – 1999 года

  1. V.V.Levenets, V.I.Beklemishev, E.P.Kirilenko, I.I.Makhonin, A.Yu.Trifonov, B.A.Loginov, V.V.Protasenko. Chemical stability of HBF4-treated (100)Si Surfaces. Jpn.J.Appl.Phys., vol.34 (1995), pt.1, No.4A, pp.1723-1727.

  2. B.A.Loginov. Scanning Tunneling Microscope with nanolithography capabilities. 43th International Field Emission Symposium, Moscow, ITEP, July 14-19, 1996.

  3. В.А.Беспалов, Б.А.Логинов, В.В.Протасенко. Сканирующая микроскопия приборов и структур микроэлектроники. Всероссийская научно-техническая конференция «Электроника и информатика-97», Москва, МИЭТ, ноябрь 1997.

  4. С.Б.Нестеров, Ю.К.Васильев, Г.Л.Саксаганский, Б.А.Логинов, В.В.Протасенко. "Влияние микрогеометрии сорбентов на сорбционные характеристики крионасосов". Материалы V научно-технической конференции "Вакуумная наука и техника", Гурзуф, 1998, с. 145-149.

  5. E.A.Deulin, A.A.Gatsenko, B.A.Loginov. Friction force of smooth surfaces of SiO2-SiO2 as a function of residual pressure. Surface science 433-435 (1999) p.288-292 (10th International Conference on Solid Surfaces ICSS-10, Bermingham, UK, 31.08-4.09, 1998, Abstracts, p.310).

  6. Nesterov S., Saksagansky G., Vassiliev Yu., Loginov B., Protasenko V. How the sorbent microgeometry effects the sorptional characteristics of cryopumps", Vacuum, 1999, vol. 53, p. 263-267 (14th International Vacuum Congress IVC-14, Bermingham, UK, 31.08-4.09, 1998).

  7. И.В. Яминский, А.В. Большакова, Б.А. Логинов, В.В. Протасенко, А.Л. Суворов, М.А. Козодаев, Д.С. Волнин. Микроскопический контроль на содержание вируса полиомиелита. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 1999, №7, с.100-103.

  8. I.V. Yaminsky, A.V. Bolshakova, B.A. Loginov, V.V. Protasenko, A.L. Suvorov, M.A. Kozodaev, D.S. Volnin. Scanning Probe Microscopy Investigation of Poliomyelitis Virus. STM`99, Seoul, Korea, Abstracts, p.314.

  9. I.V. Yaminsky, A.V. Bolshakova, B.A. Loginov, V.V. Protasenko, A.L. Suvorov, M.A. Kozodaev, D.S. Volnin. Scanning Probe Microscopy Studies of Poliovirus. Scanning Probe Microscopy Cantilever Sensor and Nanostructures. May 30 - June 1, 1999, Seattle, USA. Abstracts.

  10. М.А. Козодаев, Б.А.Логинов, А.Л.Суворов, А.М.Козодаев. Радиационная модификация поверхности пиролитического графита: анализ с помощью сканирующей туннельной микроскопии. В сборнике: Современные проблемы ядерной физики, физики и химии конденсированных сред. Труды «Первой Московской Международной школы физики ИТЭФ». Под ред. Ю.Г.Абова, А.Л.Суворова, В.Г.Фирсова. М.: Редакция журнала УФН, 1999, с.241-242.

  11. Yu.N.Cheblukov, A.S.Fedotov, M.A.Kozodaev, B.A.Loginov, M.O.Popov, A.E.Stepanov, A.L.Suvorov. Quantitative scanning tunneling microscopy of radiation-induced modification of materials surface. Materials Science and Engineering, Vol. A270 (1999), p.102-106.

2000 – 2004 года

  1. I.V. Yaminsky, A.V. Bolshakova, B.A. Loginov, V.V. Protasenko, A.L. Suvorov, M.A. Kozodaev, D.S. Volnin. Microscopic control on content of poliomyelitis virus. Surface investigations, 2000, vol. 15, pp. 1119-1125.

  2. А.Л.Суворов, Б.А.Логинов, М.О.Макеев. Способ и устройство контроля и исследования поверхности внутри ядерных и темоядерных установок. Патент РФ на изобретение №2169954 от 27.06.2001г.

  3. D.V.Serebryakov, A.P.Cherkun, B.A.Loginov, V.S.Letokhov. Tuning-fork-based highly sensitive surface-contact sensor for AFM/NSOM. International Workshop “Scanning Probe Microscopy – 2001”, Abstracts, pp.239-242, Nizhny Novgorod, 26Feb-01March, 2001.

  4. D.V.Serebryakov, A.P.Cherkun, B.A.Loginov, V.S.Letokhov. Tuning-fork-based highly sensitive surface-contact sensor for AFM/NSOM. Rev. Sci. Instr. 73, 1795 (2002).

  5. А.Л.Суворов, Б.А.Логинов, Л.Н.Химченко, О.Н.Макеев. Сканирующий туннельный микроскоп для внутриреакторных исследований. ХШ Российский симпозиум по растровой электронной микроскопии и аналитическим методам исследования твёрдых тел, Черноголовка, Июнь 2003, Тезисы, стр. 60.

  6. L.N.Khimchenko, M.I.Guseva, A.L.Suvorov, B.A.Loginov, O.N.Makeev. First Results of TOKAMAK T-10 Investigation of Scanning Tunneling Microscope in sutu. 30th EPS Conference of Controlled Fusion and Plasma Physics, St.Peterburg, Russia, 7-11 July 2003 ECA Vol.27A p.2.75.

  7. L.N.Khimchenko, V.P.Budaev, M.I.Guseva, B.N.Kolbasov, A.M.Lebedev, B.A.Loginov, O.N.Makeev, K.A.Menshikov, V.G.Stankevich, N.J.Svechnikov, A.L.Suvorov. Investigation of TOKAMAK T-10 glogular films microstructure. 31st EPS Conference on Plasma Physics, 28 June - 2 July 2004, Imperial College, London.

  8. С.Б.Нестеров, Б.А.Логинов, Н.Р.Сабирзянов. Разработка сверхвысоковакуумного низкотемпературного (НТ) сканирующего туннельного микроскопа (СТМ). Принципиальная схема установки. Материалы IX научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника», 2004г., МГИЭМ, стр. 368-371.

  9. Ларионов В.П., Лепов В.В., Петров П.П., Логинов Б.А. Особенности создания хладостойких сталей, предназначенных для эксплуатации в регионах холодного климата. Наука производству, 2004, №9, С.7-14.

2005 год

  1. Н.В.Воробьева, А.Н.Лачинов, Б.А.Логинов. Обнаружение гигантского магнетосопротивления в системе Fe/Ni-полимер-Cu. IX Ежегодный Симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника», 25-29 марта 2005 г, Нижний Новгород, Россия.

  2. В.М.Корнилов, А.Н.Лачинов, Б.А.Логинов., Особенности формирования наноструктур при СТМ-исследовании поверхности кремния. IX Ежегодный Симпозиум «Нанофизика и наноэлектроника», 25-29 марта 2005 г, Нижний Новгород, Россия.

  3. Корнилов В.М., Лачинов A.Н., Логинов Б.А. Создание и исследование квазинульмерных структур методами сканирующей туннельной микроскопии. Нано- и микросистемная техника, 2005, 7, с.8 – 11.

  4. S.Ya.Andrushin, L.A.Balagurov, G.V.Liberova, B.A.Loginov, E.A.Petrova, A.Sapelkin, B.Unal, D.G.Yarkin. Formation of porous silicon on non-conductive substrate and its use as a sacrificial layer. Semicond. Sci. Technol. 20 (2005) 1-6.

  5. L.A.Balagurov, B.A.Loginov, E.A.Petrova, A.Sapelkin, B.Unal, D.G.Yarkin. Formation of porous silicon at elevated temperatures. Electrochimica Acta 1193 (2005) 1-4.

  6. Н.А. Хлебников, И. Г. Григоров, Е. Г. Печерских, Б. А. Логинов, Е. В. Поляков, Ю. Г. Зайнулин, Г. П. Швейкин. Исследование морфологии нанопорошков туннельным сканирующим микроскопом СММ-2000Т. 5-я международная конференция «Химия твёрдого тела и современные микро- и нанотехнологии», Сев.Кав.ГТУ, 18-23 сент.2005г., Кисловодск-Ставрополь.

  7. С.Б. Нестеров, Б.А. Логинов, Н.Р. Сабирзянов. Кеменов В.Н. Разработка сверхвысоковакуумного низкотемпературного (НТ) сканирующего туннельного микроскопа (СТМ). Конструкция криостата и вакуумной камеры. Материалы XII научно-технической конференции с участием зарубежных специалистов «Вакуумная наука и техника», 2005г., с. 322-325

  8. С.Б.Нестеров, Б.А.Логинов, Н.Р.Сабирзянов, В.Н.Кеменов. Разработка сверхвысоковакуумного низкотемпературного сканирующего туннельного микроскопа. Материалы XI международной научно-технической конференции «Высокие технологии в промышленности России» и XVII международного симпозиума «Тонкие пленки в электронике», Москва, 2005, МГТУ, С. 280-286

  9. Воронкин Е.В., Петров В.С., Быков Д.В., Васильевский В.В., Логинов Б.А., Горичев И.Г., Столяров В.Л., Сковорода А.А., Спицын А.В. Экспериментальное определение химически связанной части общего диффузионного потока при проницании водорода через ниобиевую мембрану. 5-я международная конференция «Химия твёрдого тела и современные микро- и нанотехнологии» Сев.Кав.ГТУ 18-23 сент.2005г., Кисловодск-Ставрополь.

  10. Л.Н. Химченко, В.П.Будаев, М.И.Гусева, С.А. Камнева, Б.Н.Колбасов, Н.Ю.Свечников, В.Г.Станкевич, П.В. Романов, Б.А.Логинов. Исследование структуры и фрактального роста плёнок ТОКАМАК-а Т-10. Сборник аннотаций докладов Международного семинара: "Экспериментальные возможности ТОКАМАК-а КТМ и программа исследований", 10-12 октября 2005г, Астана, Республика Казахстан, стр. 41

  11. Петров В.С., Бондаренко Г.Г., Васильевский В.В., Логинов Б.А. Исследование взаимодействия титана и ниобия с водородом методами термогравиметрии и сканирующей зондовой микроскопии. Перспективные материалы №6, 2005 г.

  12. В.Л.Таусон, Б.А.Логинов, В.В.Акимов, С.В.Липко. Неавтономные фазы как источники и стоки некогерентных элементов. Благородные и редкие металлы Сибири и Дальнего Востока: рудообразующие системы месторождений комплексных и нетрадиционных типов руд. Материалы научной конференции, Иркутск, 3-7 октября 2005г., издательство Института Географии СО РАН 2005г. т.2, стр. 154-156.

  13. Nartova A.V., Kvon R.I., Beck I.E., Loginov B.A., Bukhtiyarov V.I. New Model Supported Oxide Catalysts Suitable for STM / XPS Studies. 2-nd International School-conference on Catalysis for Young Scientists "Catalyst Design'. July 25 - 29 2005. Novosibirsk-Altai, Russia. Abstracts P.72–73.

  14. V.V.Ustinov, L.N.Romashev, B.A.Loginov, I.G.Grigorov, M.A.Milyaev, T.P.Krinitsina. Evolution of structure and magnetoresistive properties of Fe/Cr superlattices due to the Fe layers formation. International conference Functional Materials ICFM 2005 October 3 - 8, 2005, Crimea, Ukraine.

  15. Б.В.Шульгин, И.Г.Григоров, Б.А.Логинов и др. Методы и средства микроскопии: методические указания. Екатеринбург: ГОУ ВПО Уральский государственный технический университет - УПИ», 2005, 188с.

  16. E.K.Alidjanov, Yu.D.Lantukh, S.N.Letuta, S.N.Pashkevitch, B.A.Loginov. Structure, photophysical and transport properties of organic semiconductor PTCDA thin films». Тезисы доклада на «2nd International conference on physics of electronic materials» (PHYEM'05), Kaluga, Russia, May 24-27, 2005, vol.1, р.209-212.

2006 год

  1. А.Л.Суворов, С.В.Рогожкин, А.Г.Залужный, В.Ф.Бобков, С.В.Зайцев, А.В.Карпов, М.А.Козодаев, Б.А.Логинов, О.Н.Макеев. Атомно-масштабные исследования реакторных материалов, вопросы атомной науки и техники, серия Материаловедение и новые материалы, 2006, Вып. 1(66), с. 3-13.

  2. Н.В.Воробьева, А.Н.Лачинов, Б.А.Логинов. Гигантское магнетосопротивление в системе Fe/Ni-полимер-Cu. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2006, №5, стр.22-24.

  3. В.М.Корнилов, А.Н.Лачинов, Б.А.Логинов Особенности формирования наноструктур при СТМ-исследовании поверхности кремния. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2006, №5, стр.11-14.

  4. Л.И.Иванов, Б.А.Логинов, О.Н.Никитушкина, А.Н.Петров. Изменение морфологии поверхности аутенитной хромомарганцевой стали при соударении со сверхзвуковыми частицами кобальта. Физика и химия обработки материалов 2006, №1, с.37-40.

  5. Величко А.А., Пергамент А.Л., Стефанович Г.Б., Путролайнен В.В., Черемисин А.Б., Мануилов С.А., Кулдин Н.А., Логинов Б.А. Получение наноструктур на основе оксидов переходных металлов. Нанотехника. № 2. С. 89-95 (2006).

  6. A. Komolov, B. A. Loginov, E. I. Ryumtsev and A.V. Lezov. Conformation of a poly(glutamine) acid salt-surfactant complex on a solid surface. Physics of Low-Dimentional Structures №2, 2006, pp. 53-57.

  7. E.D.Politova, B.A.Loginov, G.M.Kaleva, A.V.Mosunov, S.G.Prutchenko. Microstructure and dielectric properties of (La09Sr01)[(Ga1-xCrx)0.8Mg0.2]O3- (x=0-0.35) Oxigen-Ion-Conducting Solid Silutions. Inorganic Materials, 2006, Vol.42, No.7, pp.806-814.

  8. Нартова А.В., Квон Р.И., Бекк И.Э., Логинов Б.А., Бухтияров В…И. Исследование методами СТМ и РФЭС модельных катализаторов Pt/Al2O3, приготовленных методами "препаративной химии". VII Российская конференция "Механизмы каталитических реакций" 3-8 июля 2006 г. Санкт-Петербург. с. 364 - 366.

  9. Л.Н.Ромашев, И.Г.Григоров, Б.А.Логинов. Исследования с помощью сканирующей зондовой микроскопии эволюции поверхности сверхрешеток Fe/Cr при изменении толщины слоев. XII Национальная конференция по росту кристаллов НКРК-2006, 23-27 октября 2006 года, г. Москва, Институт кристаллографии РАН.

  10. Нестеров С.Б., Логинов Б.А., Сабирзянов Н.Р. Установка для изучения сорбции труднооткачиваемых газов при низких температурах. Вакуумная техника и технология, 2006, том 16, № 4, с. 277-285. (по результатам научно-технического семинара ВТТ-2006 14-17 марта 2006г., Санкт-Петербург).

  11. В.В.Акимов, И.Н.Герасимов, В.Л.Таусон, Н.В.Смагунов, Б.А.Логинов. Особенности микроструктуры и химического состава неавтономных фаз на поверхности кристаллов гидротермально синтезированного пирротина (Fe1-xS). Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2006, №12, 1-7.

  12. В.Л.Таусон, Б.А.Логинов, В.В.Акимов, С.В.Липко. Неавтономные фазы как потенциальные источники некогерентных элементов. Доклады Академии Наук, 2006, том 406, №6, с.1-4 / V.L.Tauson, B.A.Loginov, V.V.Akimov, S.V.Lipko. Nonautonomous phases as potential sources of incompatible elements. Doklady Earth Sciences 2006, vol. 407, No.2, pp.280-283.

  13. Зайцев С.Ю., Сункин Н.С., Фролова Л.А., Логинов Б.А. Метод атомно-силовой микроскопии для характеристики ионоселективных пленок, моделирующих биологические мембраны. Сб. науч. тр. - М.: ФГОУ ВПО МГАВМиБ. - 2006. - С. 24-30.

  14. С.А.Камнева, Б.В.Кутеев, Б.А.Логинов, Л.Н.Химченко. Исследование поверхности пленок ТОКАМАК-а методом сканирующей зондовой микроскопии. XXXIII Международная конференция по физике плазмы и УТС, г.Звенигород, 13–17 февраля 2006г.

  15. Комолов А.С., Логинов Б.А., Рюмцев Е.И. и Лезов А.В. Конформация комплекса соли поли(глутаминовой) кислоты и сурфактанта на твердотельной поверхности, Физика Низкоразмерных Структур, 2006, Вып. 2, С. 53-57.

  16. Комолов А.С., Герасимова Н.Б., Аляев Ю.Г., Логинов Б. А. и др. Фотоэлектронные свойства органических пленок на поверхности кремния, ЖТФ, 2006, Том 36, Вып. 7, С. 76-80. / S.A.Komolov, N.B.Gerasimova, Yu.G.Alyaev, E.F.Lazneva, A.S.Komolov, B.A.Loginov, N.V.Putyupkin. Photoelectronic properties of organic films on the silicon surface. Technical Physics, vol.51, No.7, July 2006.

  17. I.V.Klimenko, E.P.Crinichnaya, T.S.Zhuravleva, S.A.Zav'yalov, E.I.Grigor'ev, I.A.Misurkin, S.V.Titov, and B.A.Loginov. Polyparaxylylene-CdS Nanocomposite Films: Optical Spectra, Photoluminescence, and Surface Topography. Russian Journal of Physical Chemistry, 2006, Vol.80, No.12, pp.2041-2046 (также: Журнал физической химии, 2006, том 80, №12, с.2287-2292).

  18. К.Н.Ельцов, А.Н.Климов Б.А.Логинов, В.М.Шевлюга. Пьезоэлектрическое устройство перемещения. Заявка №2006140956 от 21.11.06 на патент РФ.

  19. 19. А.Э.Григорян, Е.В.Илларионова, Б.А.Логинов, А.Н.Носырев, А.С.Рогачев, Н.В.Сачкова, П.А.Цыганков, И.Ю.Ягубова. Структурные особенности тонких многослойных пленок Ti/Al для самораспространяющегося высокотемпературного синтеза. Известия ВУЗов. Цветная металлургия. 2006, №5, с. 31-36.

2007 год

  1. B.A.Loginov, K.N.El'tsov, S.V.Zaitsev-Zotov, A.N.Klimov, V.M.Shevlyuga. A Scanner for an Ultrahigh-Vacuum Low-Temperature Scanning Tunneling Microscope. Instruments and Experimental Techniques, 2007, vol.50, №3, pp.442-423 / Б.А.Логинов, К.Н.Ельцов, С.В.Зайцев-Зотов, А.Н.Климов, В.М.Шевлюга. Сканер для сверхвысоковакуумного низкотемпературного сканирующего туннельного микроскопа. Приборы и техника эксперимента, 2007г.,.№3, стр.148-149.

  2. M.N.Palatnikov, B.A.Loginov, N.V.Sidorov, O.B.Shcherbina, I.V.Biryukova, V.V.Efremov, P.G.R.Smith, V.T.Kalinnikov. Domain Structure and Electrical Properties of Gd- and Tm- Doped Lithium Niobate Single Crystals. Inorganic Materials 2007, vol.43, №1, pp.68-72 / М.Н.Палатников, Б.А.Логинов, Н.В.Сидоров, О.Б.Щербина, И.В.Бирюкова, В.В.Ефремов, P.G.R. Smith, В.Т.Калинников. Доменная структура и электрофизические характеристики монокристаллов ниобата лития, легированного Gd или Tm. Неорганические материалы, том 43, № 1, январь 2007, с. 74-79.

  3. I.G.Samusev, V.V.Bryukhanov, A.M. Ivanov, I.S.Labutin, B.A.Loginov. Heterogeneous triplet-triplet annihilation of erythrosine and anthracene molecules on a fractal anodized aluminum surface. Journal of Applied Spectroscopy 2007, vol.74, №2, pp.205-210 / И.Г.Самусев, В.В.Брюханов, А.М.Иванов, И.С.Лабутин, Б.А.Логинов. Гетерогенная триплет-триплетная аннигиляция молекул эритрозина и антрацена на фрактальной поверхности анодированного алюминия. Журнал прикладной спектроскопии 2007, т.74, №2, с.205-210.

  4. E.A.Fortalnova, M.G.Safronenko, N.U.Venskovskii, E.D.Politova, A.V.Mosunov, M.G.Zhizhin, B.A.Loginov. Microstructure and ionic conductivity of (La1/2Li1/3+ x)TiO3perovskite-like solid solutions. Inorganic Materials 2007, vol.43, №10, pp.1103-1108 / E.A.Фортальнова, М.Г.Сафроненко, Н.У.Венсковский, Е.Д.Политова, А.В.Мосунов, М.Г.Жижин, Б.А.Логинов. Микроструктура и ионная проводимость перовскитоподобных твердых растворов (La1/2Li1/3+x)TiO3. Неорганические материалы, т.43, № 9, январь 2007, с. 1-6.

  5. В.С.Петров, Б.А.Логинов, П.Б.Логинов. Новый способ формирования наноструктур на подложке с использование туннельного микроскопа с активным зондом из монокристалла оксидной ванадиевой бронзы натрия. Физика и химия обработки материалов, 2007, №6, стр. 73-83.

  6. В.С.Петров, Б.А.Логинов, П.Б.Логинов. Способ производства наноэлектронных и наномеханических приборов. Заявка №2007137024 от 08.10.07 на патент РФ.

  7. S.A.Kamneva, V.P.Budaev, V.M.Gureev, L.N.Khimchenko, N.S.Klimov, B.V.Kuteev, V.L.Podkovyrov, A.M.Zhitluhin, B.A.Loginov. Observation of self-organized films structure, which grow at the vessel surface due to erosion process in tokamak T-10 and plasma gun QSPA-facility. The 34th European Physical Cociety Conference on Plasma Physics and Controlled Fusion", Warsaw, Poland, July 2-6, 2007, Absracts, p.45.

  8. В.Л.Таусон, Д.Н.Бабкин, С.В.Липко, И.Ю.Пархоменко, Р.Г Кравцова, Э.Е.Лустенберг, П.Б.Логинов, Б.А.Логинов. Поверхностные неавтономные нанофазы как индикаторы процессов рудообразования. Научная конференция, посвященная 100-летию со дня рождения профессора, лауреата Ленинской премии, Ф.И.Вольфсона (1907-1989), Москва, ИГЕМ РАН, 21-22 ноября 2007г., Сборник трудов, стр. 189-192.

  9. К.Н.Ельцов, С.В.Зайцев-Зотов, Б.А.Логинов, А.Н.Климов, А.Н.Косяков, О.В.Объедков, В.Н.Трофимов, А.Н.Черников, В.М.Шевлюга. Низкотемпературный (гелиевый) сверхвысоковакуумный сканирующий туннельный микроскоп GPI CRYO и его возможности. Труды XI Международного симпозиума "Нанофизика и нанофотоника" (Н.Новгород, 10-14 марта 2007 г), с.480-481.

  10. Э.К.Алиджанов, Ю.Д.Лантух, С.Н.Летута, С.Н.Пашкевич, Б.А.Логинов. Исследование структурных, оптических и электрических свойств органических полупроводников. Перспективные материалы 2007, №4, стр. 10-15.

  11. И.Г.Григоров, Л.Н.Ромашев, Б.А.Логинов, Ю.Г.Зайнулин. Оценка разрешающей способности сканирующего зондового микроскопа СММ-2000Т при использовании сканеров разной конструкции. Вторая Всероссийская конференция по наноматериалам «НАНО-2007», 13-16 марта 2007, Новосибирск, Тезисы, стр. 294.

  12. А.П.Рубштейн, И.Ш.Трахтенберг, А.Б.Владимиров, Б.А.Логинов, В.А.Югов. Зависимость параметров рельефа поверхности от толщины CNx покрытий, полученных импульсным дуговым распылением графита. 8-я Международная конференция «Пленки и покрытия – 2007», 22-25 мая 2007 г., г. Санкт - Петербург., Сборник докладов, стр. 139-141.

  13. Е.А.Фортальнова, В.В.Мурашова, М.Г.Сафроненко, Н.У.Венсковский, П.Б.Логинов, Г.М.Калева, С.Ю.Стефанович, Е.Д.Политова. Получение и исследование сегнетоэлектрических фазовых переходов в твердых растворах на основе ванадата висмута. Тезисы докладов XVIII менделеевского съезда по общей и прикладной химии. Москва, 23-28 сентября 2007 г., т.2. Химия материалов, наноструктуры и нанотехнологии.с. 576.

  14. Е.Д.Политова, Г.М.Калева, С.Ю.Стефанович, Е.А.Фортальнова, В.В.Мурашева, М.Г.Сафроненко, Н.У.Венсковский, П.Б.Логинов. Исследование сегнетоэлектрических фазовых переходов в твердых растворах на основе ванадата висмута. Труды 10 Межд. симпозиума Порядок, беспорядок и свойства оксидов ODPO 2007, 12-17 сентября 2007 г., г.Ростов-на-Дону, пос.Лоо, т.3, с.31-32.

  15. Э.К.Алиджанов, О.А.Домахин, С.Н.Летута, В.А.Беспалов, Б.А.Логинов. «Вакуумный сканирующий туннельный микроскоп для исследования проводящих образцов». Вестник ОГУ, 2007 г. №12. стр.125-128.

Партнеры и заказчики

Пользователи созданных в лаборатории зондовых микроскопов:

Москва

МИФИ, МГТУ им. Н.Э.Баумана, МЭИ, МИРЭА, МИЭТ, МИСИС, МИЭМ, НИИПМТ, СТАНКИН, ИОФАН, ФИАН, ГЕОХИ, ИРЭ РАН, НИИВТ, ИСАН, ТИСНУМ, ИТЭФ, ВНИИНМ им. А.А.Бочвара, ГИРЕДМЕТ, Институт синтеза РНЦ Курчатовский институт, ВНИИ автоматики, ИМЕТ им. А.А.Байкова, Институт физической химии РАН, Институт биохимфизики РАН, НИИ эластомерных материалов и изделий, НИИФП им. Лукина, Московская гос.академия ветеринарной медицины и биотехнологий

Санкт-Петербург

ЛЭТИ (Ленинградский электротехнический институт)

Институт аналитического приборостроения РАН

Институт физики им. Фока Санкт-Петербургского Гос. Университета

Черноголовка

Институт структурной макрокинетики РАН

Красногорск

Красногорский государственный (оптико-электронный) колледж

Фрязино

Фрязинский филиал ИРЭ РАН

Нижний Новгород

Нижегородский Государственный Университет

Ярославль

Институт микроэлектроники РАН

Самара

Самарский филиал ФИАН

Саратов

Саратовский филиал ИРЭ РАН

Петрозаводск

Петрозаводский Государственный Университет

Оренбург

Оренбургский Государственный Университет

Уфа

Башкирский государственный педагогический Университет

Институт физики молекул и кристаллов УНЦ РАН

Ижевск

Удмуртский Государственный Университет

Физико-технологический институт УНЦ РАН

Самара

Самарский филиал ФИАН

Миасс

Филиал Южно-Уральского Государственного Университета

Казань

Казанский физико-технический институт КНЦ РАН

Калининград

Калининградский Государственный Технический Университет

Апатиты

Институт химии и технологии редких элем. и мин. сырья РАН

Горный институт Кольского НЦ РАН

Снежинск

РФЯЦ ВНИИ технической физики

Саров

ВНИИ экспериментальной физики

Северск

Сибирский химический комбинат

Димитровград

НИИ атомных реакторов

Екатеринбург

Институт физики металлов УрО РАН

Институт высокотемпературной электрохимии УрО РАН

Институт химии твёрдого тела УрО РАН

Омск

Омский Государственный Университет

Новосибирск

Новосибирский Государственный Университет

Институт катализа им. Г. К. Борескова СО РАН

Томск

Томский политехнический Университет

Институт физики прочности и материаловедения СО РАН

Иркутск

СИБВАМИ

Институт геохимии им. А.П.Виноградова СО РАН

Красноярск

Сибирский Государственный Технологический Университет

Институт химии и химических технологий СО РАН

Якутск

Институт геологических наук СО РАН

Институт физико-технических проблем Севера СО РАН

Магадан

Северо - Восточный комплексный НИИ ДвО РАН

Киев

Киевский национальный университет им. Тараса Шевченко

Малайзия

Государственный Университет, г. Куала-Лумпур

Ирландия

Университет г. Дублин

Англия

Университет Кента в г. Ковентри

Израиль

фирма «Nano-size» (производство нанопорошков) www.nano-size.com

Италия

Университет г. Флоренция


Пользователи созданных в лаборатории профилометров

Москва

МГТУ им. Н.Э.Баумана, МАДИ, МИСИС, КБ-1 НПО «Алмаз», ОАО «Калибр», НИИизмерений, ОАО «Завод ПРОТОН-МИЭТ», ТИСНУМ, Росучприбор, Институт синтеза РНЦ Курчатовский институт, ВНИИНМ им. А.А.Бочвара, Московская гос.академия водного транспорта

Набережные Челны

Камский моторный завод

Брянск

Брянский Государственный Технический Университет

Уфа

Институт физики молекул и кристаллов УНЦ РАН

Оренбург

Оренбургский Государственный Университет

Петрозаводск

Петрозаводский Государственный Университет

Апатиты

Горный институт Кольского НЦ РАН

Челябинск

Челябинский инструментальный завод (ЧИЗ)

Уралучтех, Уральский филиал Росучприбора

Тюмень

Профтехучилище №36 пос. Винзели