1967 г. – Создание кафедры микроэлектроники (МЭ) и кафедры технической механики (ТМ) (это две из трёх кафедр, из которых был создан институт НМСТ).
Кафедра микроэлектроники (МЭ) создана в 1967 г. для преподавания на первых факультетах МИЭТ (МПиТК, ФТ, ФХ и ЭМ) учебных дисциплин по конструкторско-технологическим основам создания и практическому применению изделий и технологий микроэлектроники с целью комплексной миниатюризации электронной аппаратуры.
Кафедра технической механики (ТМ) была организована в 1967 году. Кафедра технической механики была создана с целью общеинженерной подготовки специалистов в области механики материалов и конструкций радиоэлектронных средств, микроприборов, оборудования электронной техники и в области технических измерений, метрологии, технического регулирования, стандартизации и подтверждения соответствия.
1968 г. – создание кафедры автоматизированные комплексы микроэлектроники (АКМ) (третья кафедра, вошедшая в состав института НМСТ).
Кафедра автоматизированные комплексы микроэлектроники (АКМ) (первоначальное название – кафедра спецоборудования – СО) создана в 1968 г. на факультете ФХ и ЭМ (физико-химический и электронного машиностроения), которые в 1970 г. организовались в два самостоятельных факультета, и кафедра СО стала выпускающей кафедрой факультета ЭМ по направлению 210107 «Электронное машиностроение» для подготовки специалистов в области проектирования, производства и обслуживания технологического оборудования для изготовления интегральных микросхем.
С 1973 г. кафедра микроэлектроники (МЭ) стала выпускающей по подготовке специалистов в области конструирования и технологии производства микроэлектронной аппаратуры (факультет МП и ТК).
Первый выпуск инженеров состоялся в 1979 году.
2001 г. – образование факультета Электронных технологий, материалов и оборудования (ЭТМО). С 2001 г. с образованием факультета Электронных технологий, материалов и оборудования (ЭТМО) кафедра МЭ вошла в его состав.
2004 г. – объединение кафедры микроэлектроники (МЭ) и кафедры автоматизированные комплексы микроэлектроники (АКМ). В 2004 г. произошло объединение кафедры микроэлектроники (МЭ) и кафедры автоматизированные комплексы микроэлектроники (АКМ) под общим названием – кафедра микроэлектроники. Заведующий кафедрой – Тимошенков С.П.
2017 г. – создание института Нано- и микросистемной техники (НМСТ). Институт нано- и микросистемной техники был создан 1 сентября 2017 года на базе кафедры микроэлектроники, ее научных подразделений и кафедры технической механики.
2024 г. – первый набор в рамках передовой инженерной школы МИЭТ. В 2024 г. состоялся первый набор на программу «Технологическое оборудование для производства изделий микроэлектроники и микросистемной техники» по специальности «Конструирование и технология электронных средств» в рамках Передовой инженерной школы (ПИШ).
